在芯片制造、生物醫(yī)藥等高精尖領(lǐng)域，有一種“隱形殺手”常被忽視——它就是AMC（空氣分子污染物）。這類看不見的酸性、堿性氣體或有機(jī)物不僅會(huì)對(duì)生產(chǎn)儀器設(shè)備、人員、產(chǎn)品及周邊環(huán)境等造成嚴(yán)重的影響，還會(huì)悄然影響產(chǎn)品良率與設(shè)備壽命。

要想高效控制AMC，可以這樣做

精準(zhǔn)過濾：配置化學(xué)過濾器，針對(duì)性吸附不同AMC；

源頭控制：選用低揮發(fā)性材料，減少污染物釋放；

優(yōu)化氣流：合理組織潔凈室氣流，防止污染物擴(kuò)散；

實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)：借助傳感器實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)，污染早發(fā)現(xiàn)、早處理。

傳統(tǒng)的分析方法因涉及冗長(zhǎng)的采樣流程與復(fù)雜的樣品預(yù)處理環(huán)節(jié)，往往無法在短時(shí)間內(nèi)輸出分析數(shù)據(jù)，致使產(chǎn)線無法實(shí)現(xiàn)快速響應(yīng)與工藝調(diào)控。而億天凈化AMC化學(xué)污染物在線監(jiān)測(cè)系統(tǒng)憑借ppb級(jí)超高靈敏度特性，成為半導(dǎo)體制造環(huán)境實(shí)時(shí)監(jiān)控的理想解決方案。

AMC在線監(jiān)測(cè)系統(tǒng)專用于對(duì)潔凈區(qū)域中的環(huán)境進(jìn)行AMC（氣態(tài)分子污染物）監(jiān)測(cè)。該系統(tǒng)可與信號(hào)控制箱、監(jiān)測(cè)服務(wù)器、電腦終端、專業(yè)軟件、泵、多路采樣器等設(shè)備配套使用，并可根據(jù)廠房的實(shí)際布局配置完整的數(shù)據(jù)線、電源線等輔助材料，實(shí)現(xiàn)對(duì)環(huán)境中AMC濃度的實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)、數(shù)據(jù)展示、自動(dòng)存儲(chǔ)、歷史查詢與圖表分析等功能，全面滿足半導(dǎo)體潔凈廠房在環(huán)境數(shù)據(jù)管理方面的需求。

AMC化學(xué)污染物在線監(jiān)測(cè)系統(tǒng)特點(diǎn)和優(yōu)勢(shì)

通過監(jiān)測(cè)系統(tǒng)對(duì)AMC物質(zhì)濃度監(jiān)測(cè)，建立預(yù)警系統(tǒng)；

部分監(jiān)測(cè)物質(zhì)檢出限可達(dá)ppt級(jí)別；

針對(duì)RC、CxF、TVOC等物質(zhì)具備定制化功能；

提供實(shí)時(shí)在線歷史數(shù)據(jù)查看和數(shù)據(jù)圖標(biāo)趨勢(shì)分析;

ESKY公司具備CNAS資質(zhì)實(shí)驗(yàn)室，可進(jìn)行數(shù)據(jù)手工校驗(yàn);

遠(yuǎn)程控制，支持 TCP/IP 以及 485 連接到現(xiàn)有上位機(jī)。

AMC化學(xué)污染物在線監(jiān)測(cè)系統(tǒng)配置